啟天中型等離子設(shè)備（電漿清洗機(jī)）廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。 啟天等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等。可選擇多種射頻電源發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。主要應(yīng)用于LCD、LED、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領(lǐng)域。 所有元器件及核心部件采用進(jìn)口，保證了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。 真空泵采用進(jìn)口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時(shí)間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護(hù)成本，泵的各項(xiàng)保護(hù)措施完善，提高了長時(shí)間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部，使機(jī)器緊湊，占地面積小。 自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報(bào)警記錄和工藝曲線記錄、工作時(shí)間紀(jì)錄，適合維護(hù)，可以提供工藝參考。 可存儲50組工藝配方，隨意調(diào)用。 清洗時(shí)間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設(shè)定可調(diào)。 工藝參數(shù)受密碼保護(hù)，分級密碼管理查詢。 一鍵完成全自動工藝，實(shí)時(shí)故障報(bào)警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。 自動提醒系統(tǒng)維護(hù)、更換真空泵油等，避免機(jī)器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。 氣體質(zhì)量流量計(jì)采用美國進(jìn)口，由模擬量輸入輸出，量程為0～200sccm可在量程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié)，根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC對質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)而實(shí)現(xiàn)真空度的控制。 根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過濾器，過濾返油裝置等。電極結(jié)構(gòu)（已申請專利）的高等離子通量設(shè)計(jì)能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。