DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置 主要技術參數： ◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm； ◆真空腔室結構：立式前開門結構，后置抽氣系統，雙層水冷； ◆真空系統：擴散泵+機械泵+維持泵； ◆極限真空：5×10-4Pa； ◆真空測量方式：數顯復合真空計、薄膜壓力計； ◆基片臺尺寸：Φ100mm； ◆基片臺升降：80～100mm； ◆基片臺轉速：0～10轉/分（可調）； ◆熱絲溫度：2000℃～2500℃； ◆襯底溫度：600℃～1000℃； ◆制膜種類：金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和碳化硅膜等； ◆工作電源：AC380 V，50Hz；整機功率5KW。電源型式：熱絲電源； ◆真空控制方式：手動按鈕控制； ◆工藝氣體控制方式：4路工藝氣體流量控制及顯示系統； ◆報警及保護系統：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施。