薄膜壓力傳感器

北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所股份有限公司原名為北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所，成立于2001年，自主獨立設(shè)計了離子束刻蝕設(shè)備和雙離子束濺射沉積鍍膜設(shè)備，其自主設(shè)計的考夫曼離子源穩(wěn)定性≤±3%，鍍膜均勻性≤±5%，工件臺采用水冷控溫系統(tǒng)，溫度可以控制在5℃~25℃，可低溫成膜。采用離子束濺射鍍膜設(shè)備加工的薄膜附著力很強、均勻性好、致密度高，可合成新功能復(fù)合型薄膜。例如可利用離子束濺射沉積鍍膜設(shè)備直接在彈性鋼上面沉積應(yīng)變膜層。