海寧半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室裝修、千級(jí)超凈間建設(shè)工程及方案-SAREN三仁

隨著各類(lèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開(kāi)發(fā)、升級(jí)和各種使用要求，工業(yè)裝修對(duì)空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是5G熱潮襲來(lái)、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級(jí)的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。 千級(jí)凈化車(chē)間的應(yīng)用較為廣泛，在醫(yī)院手術(shù)室、機(jī)械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計(jì)中潔常有使用。千級(jí)潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，同時(shí)為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染，在室內(nèi)壓差上也有所要求，通常要求內(nèi)部壓力（靜壓）＞外部壓力（靜壓）；潔凈度要求高的空間壓力＞潔凈度要求低的空間壓力；潔凈室門(mén)的朝向應(yīng)開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。更多的千級(jí)凈化車(chē)間裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)和一般做法詳見(jiàn)下文  一、千級(jí)凈化車(chē)間的裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) 1. 千級(jí)凈化車(chē)間的建筑通常劃分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種，其中裝配式更為普遍，主要包括由初級(jí)、中級(jí)、高級(jí)空氣過(guò)濾器構(gòu)成的空調(diào)送回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及其他配套系統(tǒng)。 2. 千級(jí)凈化車(chē)間的室內(nèi)空氣參數(shù)設(shè)置要求： 溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5％。 新風(fēng)量：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30％；補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。 送風(fēng)量：要滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。 千級(jí)凈化車(chē)間的一般做法 關(guān)于千級(jí)凈化車(chē)間的一般做法，三仁將以電路板千級(jí)凈化車(chē)間的三種設(shè)計(jì)方案來(lái)比較分析。此處案例為蘇州一個(gè)美資柔性電路板EPC總承包項(xiàng)目中的一個(gè)典型工藝房間，溫濕度要求在（21±2）℃，濕度控制在（55±10）%。 1. 方案一：AHU（空調(diào)機(jī)組）+HEPA 2. 方案二：MAU（新風(fēng)機(jī)組）+RAU（循環(huán)機(jī)組）+HEPA 3. 方案三：AHU（空調(diào)機(jī)組）+FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元） 對(duì)比三種方案發(fā)現(xiàn)三種方案造價(jià)差異不大，但方案三由于使用了大量循環(huán)風(fēng)且只經(jīng)過(guò)一次過(guò)濾，在運(yùn)行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市場(chǎng)上，千級(jí)凈化車(chē)間隨著FFU價(jià)格的降低，越來(lái)越受到設(shè)計(jì)師和建設(shè)方的喜愛(ài)。

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